nanolithography

时间:2005-10-27 来源: 作者: 点击:
  

  纳米平板印刷术是微观级的蚀刻、书写或者印刷的艺术和科技,它们的字的大小能用纳米(10的负9次方米,或者百万分之一毫米)来衡量。制造原子级别的集成电路(ICs)时有几种方法可以在原子级修改半导体芯片。纳米平板印刷术使用的工具有扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜 (ATM)。SPM能在不经过修改的情况下高清晰的进行表面观察。SPM或ATM可以用于在单原子大小表面的蚀刻、书写或者印刷。也可参看纳米机械和纳米技术。

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